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- 产品名称：ALPAO高速变形镜,可变形反射镜，可变形镜,deformable mirror
- 产品型号：G5A0A980A7975E
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- 发布时间：2018-11-26
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简单介绍
变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一
产品描述
ALPAO高速变形镜
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变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，*高到820 个驱动器，行程达80?m，表面质量<7nmRMS，采用目前世界上*先进的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。
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ALPAO高速变形镜,可变形反射镜，可变形镜,deformable mirror
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ALPAO公司可变形镜
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ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%，高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。
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主要特点：
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· 高动态范围 ：响应时间小于500μs
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· 镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0?m
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表面平整：表面粗糙度 <15? RMS
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亚纳米步长精度
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低磁滞：磁滞误差小于1%
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单通道相位调制幅度>5.0 ?m PTV
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法国ALPAO高速变形镜主要型号相关参数如下：
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型 号
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参 数
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DM69
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DM88
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DM97-08
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DM97-15
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DM241
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DM277
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DM468
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DM820
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单通道口径
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1.5mm
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2.5mm
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0.8mm
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1.5mm
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2.5mm
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1.5mm
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通道数
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69
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88
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97
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97
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241
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277
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468
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820
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孔径
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10.5mm
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20.0mm
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7.2mm
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13.5mm
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37.5mm
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24.5mm
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33.0mm
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45.0mm
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闭环系统镜面平整度
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7.0nm RMS (no print through effects)
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*大形变量（PTV)
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60?m
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40?m
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80?m
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60?m
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40?m
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15?m
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聚焦/散光形变量（PTV）
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40?m
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30?m
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40?m
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40?m
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30?m
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10?m
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3x3*大形变量（PTV)
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>25?m
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>10?m
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响应时间（+/-10%)
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800μs
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1.6ms
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800μs
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1.6ms
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500μs
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带宽
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>750HZ
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>400HZ
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>750HZ
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>400HZ
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>2000HZ
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45°相位延迟频率
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> 500 Hz
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> 300 Hz
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\r\n
> 500 Hz
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\r\n
> 300 Hz
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> 1500 Hz
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回程误差
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<2%
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非线性误差
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<3%
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涂层
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