闭环扫描管：XY > 90 μm，Z > 7.5 μm 开环扫描管：XY > 5 μm, Z > 1.5 μm 样品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm 电动Z轴载物台：Z轴行程： 18mm 光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦 视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x物镜) 分辨率： <2μm，标准10x物镜(50x物镜<0.75μm) 电子电路：20位DAC控制器，100kHz、±10v ADCs，数字反馈器件 系统软件：用于数据采集和分析的SPMLab™ v7.0，Windows® XP
Innova在同类SPM中，性价比*高 · 独有的闭环扫描控制，在开环噪声水平上提供三维**测 · 高分辨光学系统辅助**探针定位 · 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便，更容易 · 拥有所有SPM操作模式，为科学研究提供更高的应用灵活性 · **的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法
Innova扫描探针显微镜（SPM）具有高扫描分辨率、出色品质，可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。Innova具有很强的灵活性，能以较低成本满足各种科研应用要求。采用****的闭环扫描线性系统，**的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。Innova可以轻松的在90微米扫描管上实现原子级分辨率。集成的高分辨率彩色光学系统，以及可编程和电动Z轴载物台，使得寻找、对准被测区域，更换针尖或样品更加快速简便。
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