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尘埃粒子计数器的校正方法
标准粒子通过255粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,一定要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。
校正的基本步骤:
现假设对一台常见的Royco HH200作校正
1、*先,要清楚Royco 323和HH200A有何差别,其测试原理一样,但Royco 323流速为1CFM(立方英尺/分钟),而Royco HH200则为0.1CFM。
2、将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Royco 323和Royco HH200,让其预热半小时。
3、准备好255的取样器管,并搭接好其**气体管路。
4、将配好的标准液(如0.301um)放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。
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