附表1
测头技术参数:
测头型号
F400
F1
F1/90
F10
N1
CN02
工作原理
磁感应
电涡流
测量范围(um)
0-400
0-1250
0-10000
0-1250(铜上镀铬0-40um)
10-200
低限分辨力(um)
0.1
10
1
示值误差
一点校准(um)
±[3%H+1]
±[3%H+10]
±[3%H+1.5]
两点校准(um)
±[(1~3)%H+0.7]
±[(1~3)%H+1]
±[(1~3)%H+10]
±[(1~3)%H+1.5]
-
测量条件
*小曲率半径(mm)
凸 1
凸1.5
平直
3
基体*小面积的直径(mm)
ф3
ф7
ф40
ф5
*小临界厚度(mm)
0.2
0.5
2
0.3
无限制