XP-703DIII测漏检测（半导体用）[产品打印页面]

检测对象气体

H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3

检测原理

专线型半导体式

采集方式

自动吸引式

可检测泄漏量

H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7

可检测浓度

H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7

反应时间

10秒以内

显示方式

液晶数字（手动背景灯）

电源（额定）

5号碱性干电池（LR6）  2节

电池使用时间※1

约12小时（5号碱性干电池、25℃时）

保护等级※2

相当于IP22※3

使用压力范围

大气压（800～1100kpa）

使用温湿度范围

0～40℃/85%RH以下（但不能结露）

外形尺寸

W38×H130×D32㎜（突出部分除外）

重量

约190g（包括电池、皮套）