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常见气体声表面波传感器研究进展

常见气体声表面波传感器研究进展
摘要】：声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展。

【作者单位】：安徽大学电子科学与技术学院;中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室;
【关键词】： 声表面波 气体传感器 有害气体 敏感材料

【分类号】：TP212
【DOI】：CNKI:SUN:CGSJ.0.2009-03-002

一、引言科学技术的迅速发展加剧了各种有害气体对环境和人类健康的危害性,及时准确地获知环境中有毒气体的浓度对环境监测和保护意义重大。目前检测室内外气体的方法主要包括电化学法、气相色普法、导热法、红外吸收法、接触燃烧法、半导体型气体传感器检测法、光纤法[1-8]常见气体声表面波传感器研究进展

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