运作范围：0-20 ppm 测量下限：2 ppb 外形尺寸（高x 宽x 深）：8.75″ x 8.5″ x 22.5″ 灵敏度: 1 ppb 重量: 15 千克（33 磅） 精度(取大值)：读数的±4%或±1ppb 响应速度: 95%的响应 少于3 分钟 环境温度：+10°C ~ +40°C 存储温度：-10°C ~ +50°C
所用材料: 316L 不锈钢（可选哈氏合金） 压力：50 torr -15 psig 接液部件: 10 Ra 流量：可达1,000 sccm 气体的连接：1/4” VCR 入气口及出气口 气体样本: 氨、砷化氢、膦、或惰性气体 泄漏测试：< 2×10-8 mbar･l/min 气体温度：低于60°C 警报指示灯: 用户设置 认证 : CE: LVD & EMC 电源电压: 90-240 VAC, 50/60 Hz 测量原理：（CRDS）光腔振荡衰减光谱 消耗功率：40W 以下 特许: 美国**＃5528040, 其他**申请中 输出信号：记录: 0-5 VDC / 4-20mA 隔离 通信: RS-232（可选无线） 用户界面：5.6“LCD 触摸屏, 10BaseT Ethernet,RS-232/422