源自美国**科技的KM超声波局部检测仪原理--大容器检漏系统

被检容器容积较小时，可以直接接到质谱检漏仪上去进行检漏。局部检测仪但是当被检容器的容积在100m以上时，由于体积过大，凄凉多，表示积大，放气多，漏孔也可能较多，若直接用质谱检漏仪的抽气系统来抽，可能长时间也抽不上期，使得检漏仪无法工作。即使长时间抽气后能达到质谱仪工作压力，然而其反应时间太长，也难以实现检漏，因此需要加一个辅助系统，局部检测仪检漏时，先用辅助泵将被检容器抽到低真空后再次级泵（扩散泵）抽，次级泵正常工作后，打开检漏仪的节流阀，使被检容器通过辅助系统与已抽至极限真空的检漏仪相连，此时检漏仪抽气系统与辅助泵一起做次级泵的前几，调节 节流阀使检漏仪处于工作压力下，局部检测仪然后进行检漏。检漏时，如节流阀能全打开且辅助阀能全部关闭*好，此时漏入系统的氦气能全部通过检漏仪，其灵敏度*高，一般情况都是辅助阀既不能全关，节流阀又不能完全打开，因此灵敏度要低很多。

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