超声波检漏仪之逆流氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的一个新发展是逆流检漏的出现，超声波检漏仪此仪器的优点是：由于它的质谱室是处在高真空一侧，被检件则接在前级位置，因此能在较低的真空度下对被检件进行检漏，超声波检漏仪且减少了被检件中的污物对质谱室的污染。这种仪器是根据扩散泵各级喷嘴的压缩比与气体质量有关的质量有关的原理制成的。其中，气体质量越小，压缩比也越小，多级压缩可达到对氦为10，对空气中的其他气体成分为10的四次方-10的六次方。当质谱计管接在泵的入口处，被检件接在泵的前级管道时，氦气通过漏孔进入前级管道后，仍有部分氦气逆流到质谱计管中去，超声波检漏仪并给出漏气信号。对逆扩散检漏仪来说，灵敏度没有明显的降低。

逆扩单原理的优越性，包括不用液氮，因此降低成本，并取消了危险物品的使用。另外减少了抽气时间，可在1000-10Pa的压强范围内进行检测，在店里系统大系统检漏时，发挥其特长。

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