检漏仪质谱仪是如何使不同质量的粒子彼此分开呢？从带电粒子在电磁场中的运动特点得到启发，放一个带电质点（正离子）以速度V进入均匀磁场后，如果它的运动速度V的方向和磁场H的方向相垂直，则它的运动速度V的方向和磁场H的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，当速度V和磁场强度H一定时，不同质荷比M/e的粒子都有相应的运动半径，检漏仪也就是都有相应的圆轨迹，这样就可以把它们彼此分开。
氦质谱检漏仪又是如何实现检漏的目的的呢？氦质谱检漏仪使不同质量的气体变成粒子后在场中彼此分开，并且使同质量的粒子在场中聚在一起。然而，仅仅使氦离子通过一个挡板上的狭缝而被接受极接收形成离子流，检漏仪并且由测量仪器指示出来，而其他粒子被该挡板档掉，使其达不到收集极上去。检漏时，外界喷吹的氦气通过漏孔进去系统后，使系统中的测量仪器的指示仪表立即灵敏地反映出来，达到了检漏的目的。
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