被检容器容易较小时,可以直接接到质谱检漏仪上去进行检漏,但是当被检容器的容积在100m以上时,由于容积大,气量多,表面积大,放气多,漏孔也可能较多,若直接用质谱检漏仪的抽气系统来抽,可能长时间也抽不上去,使得检漏仪无法工作。即使长时间抽气后能达到质谱仪工作压力,然后其反应时间太长,也难以实现检漏。因此需要加一个辅助系统,检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空后再用次级泵(扩散泵)抽,次级泵正常工作后,打开检漏仪的节流阀,使给检容器通过辅助系统与已抽至极限真空的检漏仪相连,此时检漏仪抽气系统与辅助泵仪器作次级泵的前级,调节节流阀使检漏仪处于工作压力下,然后进行检漏。检漏时,如节流阀能全部打开且辅助阀能全部关闭*后,此时漏入系统的氦气能全部通过检漏仪,其灵敏度*高,一般情况都是辅助阀即不能全关,节流阀又不能完全打开,因此灵敏度要低很多。
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