如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时(图中a)，下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时(图中b)，该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时(图中c)，下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时(图中d)，上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°(图e)位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
罗茨真空泵的*大优点是：在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联。待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才能开始工作。并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空泵时必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。
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