工作距离(Working Distance)工作距离指的是,对准焦点于物体表面时,物镜前端到物体表面(使用盖玻片的物镜则是指到盖玻片上面)的距离。
反射微分干涉观察
反射微分干涉观察能够立体的观察样品上的微小的高低不平的观察法。使用安装在物镜上方的DIC棱镜,将照明光横向分离成两束光线照明样品,从样品直接反射的两束光线的差生成明暗对比,从而能立体的观察样品的观察样品表面上微小的高低不平。此外,利用灵敏辉片,光程差会产生颜色变化,能够更好的观察微小的高低不平。有微小的高低不平的样品。
比如:晶圆研磨面、硬盘表面、磁头研磨面、金相组织等。
此外根据不同的显微镜有不同的显微镜用于的说法,要根据不同的行业和型号的显微镜。