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- 产品名称:MX51工业检测显微镜
- 产品型号:MX51工业检测显微镜
- 产品展商:其他品牌
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- 发布时间:2018-07-02
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简单介绍
MX51工业检测显微镜日本奥利巴斯显微镜MX51工业检测显微镜金相显微镜/半导体显微镜/LCM检查显微镜 正置金相显微镜 | 倒置金相显微镜 | LCD检查金相显微镜 | 便携/现场金相显微镜 | 金相制样设备 | 金相制样耗材 |
产品描述
MX51工业检测显微镜
• 紧凑的设计实现小的占地空间
• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能
• 标配158×158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)
• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查
• 采用防静电设计,极大方便磁头检查
• 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正光学系统) |
显微镜镜体 | Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32 mm(从焦面上行2 mm和下行30 mm) 行程相同:15 mm(配合透射光照明) Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm(1个单位1 μm) 调焦机构张力可调 有调焦上限位机构 |
照明系统 | | BX-KMA 明视场照明器 | BX-RLA2 明视场/暗视场照明器 |
观察方式转换 | — | 明视场-暗视场滑块转换法 |
可适用观测模式 | ①明视场法 ②DIC微分干涉衬比法 ③偏振光照明法 | ①明视场法 ②暗视场法 ③DIC微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤红外光 |
光源 | 6V30W瓦卤素灯 灯座: U-LS30-4 变压器: TL-4 | 12V100W瓦卤素灯 灯座: U-LH100L-3 电源整合在MX51显微镜中 |
透射照明 | 明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用) |
观察镜筒 | U-BI30-2 宽场双目镜筒, U-TR30-2 宽场三目镜筒, U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22),U-SWTR 超宽场三目镜筒,MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) |
物镜换镜转盘 | U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽) |
载物台 | U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台 MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台 |
金相显微镜/半导体显微镜/LCM检查显微镜
正置金相显微镜 | 倒置金相显微镜 | LCD检查金相显微镜 | 便携/现场金相显微镜 | 金相制样设备 | 金相制样耗材 |
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