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- 产品名称:OMT-5R半导体检查显微镜
- 产品型号:OMT-5R
- 产品展商:欧米特
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- 发布时间:2018-09-08
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简单介绍
OMT-5R半导体检查显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为**工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
产品描述
OMT-5R半导体检查显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为**工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
技术规格
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观察头
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30°铰链式三目(50mm-75mm)
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目镜
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WF10×/25mm
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WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板
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转换器
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带DIC插孔明暗场五孔转换器
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物镜
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平场无限远长工作 距离明暗场物镜:
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm选配
80×/0.75B.D/W.D.4mm选配
100×/0.80B.D/W.D.3mm选配
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平台
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双层移动平台
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平台尺寸: 350mm×310mm
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移动范围:250mm×250mm
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滤色片
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插板式滤色片(绿、蓝、中性)
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调焦
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粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm
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光源
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落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节
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偏光装置
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检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路
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检测工具
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0.01mm
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可供附件
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目镜:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
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130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜
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平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
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二维测量软件
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专业金相图像分析软件
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DIC(10×、20×、40×、100×)
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摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
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压平机
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数字相机OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C 测量软件OMT-1.5D
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OMT-5R特点说明
1. 采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2. 拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一
观察法中均提供高清晰的图像质量。
3. 采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
4. WF10X(Φ25)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜。
5. 可插DIC微分干涉装置的转换器。
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