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- 产品名称：奥林巴斯尼康舜宇江南MX51工业检测显微镜
- 产品型号：MX51工业检测显微镜
- 产品展商：欧米特
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- 发布时间：2018-07-17
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简单介绍
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产品描述
MX51工业检测显微镜
紧凑的设计实现小的占地空间
• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能
• 标配158×158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)
• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查
• 采用防静电设计，极大方便磁头检查
• 提高系统灵活性和操作舒适性，满足SEMI S2/S8标准
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光学系统
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UIS2光学系统（无限远校正光学系统）
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显微镜镜体
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Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32 mm（从焦面上行2 mm和下行30 mm）
行程相同：15 mm（配合透射光照明）
Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm（1个单位1 μm）
调焦机构张力可调
有调焦上限位机构
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照明系统
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BX-KMA 明视场照明器
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BX-RLA2 明视场/暗视场照明器
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观察方式转换
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明视场-暗视场滑块转换法
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可适用观测模式
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①明视场法
②DIC微分干涉衬比法
③偏振光照明法
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①明视场法
②暗视场法
③DIC微分干涉衬比法
④偏振光照明法
⑤红外光
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光源
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6V30W瓦卤素灯
灯座: U-LS30-4
变压器: TL-4
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12V100W瓦卤素灯
灯座: U-LH100L-3
电源整合在MX51显微镜中
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透射照明
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明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件（MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用）
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观察镜筒
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U-BI30-2 宽场双目镜筒， U-TR30-2 宽场三目镜筒，
U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22)，U-SWTR 超宽场三目镜筒，MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5)
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物镜换镜转盘
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U-5RE-2, U-6RE
U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽)
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载物台
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U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台
MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台
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奥林巴斯尼康舜宇江南MX51工业检测显微镜
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