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- 产品名称:显微激光测振仪MLV-100
- 产品型号:显微激光测振仪MLV-100
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- 发布时间:2018-07-18
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简单介绍
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。显微激光测振仪MLV-100显微激光测振仪MLV-100
产品描述
显微激光测振仪MLV-100
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。
点直径*
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大约10um
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频率响应范围*
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DC to 25KHz, DC to 100KHz, DC to 1MHz/2.5MHz
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测量速度范围
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法向*
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50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
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切向*
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150mm/s, 1500mm/s, 15m/s,30m/s
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滤波设置
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高通、低通滤波设置
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显微镜
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目镜
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放大倍率
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W.D
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光束直径
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5X
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34mm
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30um
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10X
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34mm
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20um
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20X/50X
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20mm/13mm
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10um/2um
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X-Y平台
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尺寸
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100X100mm
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移动范围
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+/-10mm
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分辨率
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0.001mm
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*可根据客户要求,并可为客户定制
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