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- 产品名称:MT-300半导体晶圆检查显微镜
- 产品型号:MT-300半导体检查显微镜
- 产品展商:OUMIT
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- 发布时间:2018-09-02
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简单介绍
MT-300半导体检查显微镜是我司为半导体行业专业开发的半导体检查显微镜,高性价比,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察量测需求。
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
产品描述
MT-300半导体检查显微镜
技术参数
配 置
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MT-200
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MT-300
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MT-400
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测量范围(mm)
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X
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200
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300
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400
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Y
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150
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200
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300
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Z
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150
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150
|
150
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工作台
(mm)
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铝合金台面
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400*280
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500*350
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600*500
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玻璃台面
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245*192
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350*250
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450*350
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承 重
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15Kg
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影像及
测量系统
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CCD
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630万 1/1.8"高分辨率彩色相机/HDMI智能量测相机
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光学系统
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无限远色差校正光学系统
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三目观察筒
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三目观察筒(分光比50:50),0.65X CTV接口
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目镜
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PL10X/22平场高眼点目镜(其中1只十字刻度)
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物 镜
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5X物镜(明场半导体物镜), 5X/0.15 WD 44mm
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10X物镜(明场半导体物镜),10X/0.3 WD 34mm
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20X物镜(明场半导体物镜),20X/0.35 WD 29mm
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50X物镜(明场半导体物镜),50X/0.5 WD 17mm
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显示分辨率
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0.001mm
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测量精度
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X/Y轴
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(3+L/200)um
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Z轴(选配)
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(5+L/200)um
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重 复 性
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2um
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调焦系统
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手 动
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Z轴行程150mm,
粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈)
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照明系统
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反射:柯勒照明系统,5W白色LED
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透射:5W白色LED,
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偏光装置
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直偏、检偏器
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台式电脑
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8G/500G/DVD/键鼠/+21.5液晶显示器
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测量软件
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二维几何量测量功能主要包括:两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距;十字线显示,
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校正片
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0.01mm
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电 源
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90~240V电压,50HZ
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仪器重量
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320Kg、
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可供附件
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0.5X CTV接口
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DIC微分干涉片
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100X物镜(明场无限远),
100X/0.80 WD2.1mm选配
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