1、测量精度：波长色散类X荧光光谱仪有其固有的高分辨率和高精度，能提供极高的稳定性和优良的分析精度，但对样品的形状和制备方法有所要求；能量色散X荧光光谱仪如果经过精心的设计和方法优化，也可提供行业接受的测量结果，它的一个优点是可以在不对样品进行处理的情况下给出可供参考的数据。目前波长色散类仪器也已经国产化，同类仪器相比较，进口仪器在精度上并不占优势，但价格却昂贵很多。
2、测量时间：由于波长色散配备较大功率的X光管，荧光强度高；因此，波长色散X荧光光谱仪占用较短的测量时间，便能达到较高的测量精度。
3、被测量样品的要求：由于技术特点的差异，波长色散X荧光光谱仪需要对被测量样品进行简单的处理；对固体样品的一般处理方法是将被测量样品表面打磨光滑，对粉末和其他样品可以采用磨细后进行粉末压片法处理，相应的设备市场上很容易找到。能量色散型X荧光光谱仪*大的优势在于：可以对样品不作特别复杂的处理而直接进行测量，对样品也没有任何损坏，适合直接用于生产的过程控制中；但需要强调指出的是：从荧光理论上讲，被测量样品的预先处理是必须的，对于能量色散仪器来说，我们可以采取一些技术手段进行校正来满足实际生产控制的需要，但即使采用了技术校正的手段，对不规则样品的直接测量也是以牺牲测量准确度作为代价的。
4、*佳应用范围：由于波长色散和能量色散类型X荧光光谱仪各自的技术特点，两种类型仪器所侧重的应用方案也不尽相同；波长色散X荧光光谱仪具有较高的测量精度，但同时需要对被测量样品进行简单处理，更适用于进厂原材料、半成品、成品的**检测和质量控制；能量色散X荧光光谱仪虽然测量精度稍差，但具有快速、直接测量各种形状样品的优点，因此可直接在生产线上用于各种部件、电子元器件的检测。
5、能量分辨率：能量分辨率是X荧光光谱仪仪器的主要指标，分辨率数值越小，分辨率越高，仪器性能越好。
6、荧光强度：对于X荧光光谱仪来说，各元素含量与该元素的荧光强度成正比关系；荧光强度越高，则统计误差越小，测量的准确度越高，仪器性能越好。
7、使用寿命：波长色散类型X荧光光谱仪的使用寿命一般为10年以上；能量色散X荧光光谱仪的使用寿命主要取决于X光管和探测器使用寿命，而使用寿命随工作条件的不同有一定的随机性。
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