MEMS传感器的介绍

 

        MEMS传感器是是近年来兴起的一种新型传感器。MEMS技术是建立在微米/纳米基础之上的，主要优势在于体积小、大规模量产后成本下降快，在加速度传感器领域有着不可替代的优势，市场前景广阔。根据ICInsight*新报告，2007年至2012年间，全球基于MEMS的半导体传感器和制动器的销售额达到19%的年均复合增长率(CAGR)，与2007年的41亿美元相比，2012年实现了97亿美元的年销售额。

 

        MEMS传感器原来主要采用固体摆原理，*近向气体摆发展，可以用于制作低，中，高精度的水平/倾角传感器。在实际应用中，低精度MEMS传感器由于体积小、成本低，在市场上占据越来越大的份额。但是中等精度的MEMS传感器制作成本较高，市场竞争力大打折扣；而高精度MEMS传感器制作难度极大，成本大幅上升，基本不具备市场竞争力。同时，MEMS传感器基于微电子机械加工技术，其核心**技术的竞争比较激烈，加工设备主要依赖进口，投资规模巨大，而且其在中、高精度的水平/倾角传感器生产成本居高不下，不利于在传感网中大量普及应用。

 

        目前国内生产MEMS传感器的代表企业是无锡美新公司，他们生产的MXD2020E传感器*高精度可以达到0.05度，但是要求配套电路作温度补偿，致使工艺难度大大增加。MXD2020E自身虽然只要每只两美元左右，但是加上外围电路，精度为0.1度的传感器售价达到每套25元；精度为0.05度的售价达到每套100元以上；更高精度的传感器生产难度更大，成本也直线上升，加上它的高功耗，市场推广受到一定制约。业界**公司瑞士WYLER公司的水平/倾角传感器也是采用固体摆原理制作的，可以达到很高的测量精度，分辨率可以达到0.001mm/m，动态特性也很好，但是价格昂贵，耗电量也高。
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