● 操作简单,通常只需两键 (检漏和放气) ● 进口的多口分子泵 ● 双灯丝自动切换 ● 自动调零 ● 自动校准 ● 自动量程切换 SFJ-231型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。
SFJ-231测氡仪参数: *小可检漏率:5x10 -12Pa*m3/S 检测范围:103~10 -12Pa*m3/S *大进气口压:1000Pa 响应时间:<1s 吸**式:1x10 -8Pa*m3/S 环境温度:5°C~35°C 相对温度: <80% 供电电压、单向交流 220V±10%,50Hz *大工作电流: 6A 检测口规格:DN25 ISO-KF 外型尺寸: (W)900x(D)560x(H)650 重量:72kg 吸枪:标准2.5m根据客户要求定制