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产品资料

便携式半导体特气检漏仪

便携式半导体特气检漏仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:便携式半导体特气检漏仪
  • 产品型号:XP-703D
  • 产品展商:日本新宇宙
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简单介绍
XP-703D(自动吸引式)便携式半导体特气检漏仪检测对象气体:半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 检测原理:专线型半导体式, 采样方式:自动吸引式 可检测浓度 检测表示:蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 ,应答速度:10秒以内
产品描述
XP-703D(自动吸引式)  便携式半导体特气检漏仪
特点:
*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
      
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气
AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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                                                                                        http://www.cdxwy.com
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