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- 产品名称：膜厚量测仪FE-300
- 产品型号：
- 产品展商：大塚电子
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- 发布时间：2020-04-02
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简单介绍
膜厚量测仪FE-300的特点
测试范围涵盖薄膜到厚膜
膜厚量测仪FE-300的特点
小型・低价，精度高
无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手
外观新颖，操作性提高
非线性*小二乘法，实现光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）
产品描述
小型・低价格！简单操作”非接触”膜厚量测仪FE-300！
膜厚量测仪FE-300的特点
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测试范围涵盖薄膜到厚膜
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基于**反射率光谱分析膜厚
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小型・低价，精度高
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无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手
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外观新颖，操作性提高
-
非线性*小二乘法，实现光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）
对应膜种
○ 多层膜 ○ 折射率倾斜
○ 非干涉膜 ○ 超晶格结构
用途
○ 光学薄膜（ARfilm、ITO等）
○ FPD相关（ITO、PI、PC、CF等）
测量项目
多层膜厚解析
**反射率测量
光学常数解析（n：折射率k:消光系数）
测量实例
式样
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型号
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FE-300V
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FE-300UV
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FE-300NIR *1
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本体
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标准型
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薄膜型
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厚膜型
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厚膜型（高分辨率）
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样品尺寸
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*大 8 寸晶圆（ 厚度 5 mm ）
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测量膜厚范围（ｎｄ值）
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100 nm ～ 40 μm
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10 nm ～ 20 μm
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3 μｍ ～ 300 μm
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15 μｍ ～ 1.5 mm
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测量波长范围
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450 nm ～ 780 nm
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300 nm ～ 800 nm
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900 nm ～ 1600 nm
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1470 nm ～ 1600 nm
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测量精度
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± 0.2 nm 以内 *2
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± 0.2 ｎｍ 以内 *2
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重复精度
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0.1 nm 以内 *3
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0.1 nm 以内 *3
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测量时间
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0.1 s ～ 10 s 以内
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光斑直径
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约 φ 3 mm
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光源
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卤素灯
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氙灯与卤素灯
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卤素灯
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卤素灯
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通讯接口
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USB
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尺寸，重量
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280（W) × 570（D） × 350（H） mm、 约 24 kg
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软件功能
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标准
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波峰波谷解析、FFT解析、*适化法解析、*小二乗法解析
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选配功能
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材料评价软件、薄膜模型解析软件、标准片解析
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*1 细规格请咨询
*2 相对于VLSI 公司产膜厚标准（100nm SiO2/Si）的膜厚保证书记载的测量保证值范围
*3 VLSI 公司产膜厚标准（100nm SiO2/Si）的同一点反复测量时的扩张不确定度（包括因子2.1）
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