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- 产品名称：反射式膜厚量测仪
- 产品型号：大塚电子
- 产品展商：大塚电子
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- 发布时间：2020-04-02
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简单介绍
反射式膜厚量测仪对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。
高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析
产品描述
可对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。
高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析
反射式膜厚量测仪的产品特点
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对应紫外到近红外（190～1600nm）广波长范围。
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利用高分辨率传感器，可对应厚膜以及超厚膜样品类型：0.8～1mm
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利用非线性*小二乘法薄膜解析软件，可解析多层薄膜的膜厚，光学常数（n:折射率，k：消光系数）等薄膜特性。
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利用背面反射补正，对应透明基板
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可测量微小光斑（*小3μm）的分光光谱
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可对应大型样品
光学系图
式样
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样品尺寸
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200mm*200mm*7mm（厚度）
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测量膜厚范围
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1nm-1mm
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测量波长范围
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190nm~1600nm
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可测量层膜数
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*大50层
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传感器
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电子冷却型光电二极管配列
电子冷却型CCDarea image sensor
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测量项目
多层膜解析
光学常数解析(n：折射率k:消光系数)
**反射率
测量实例
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