匀胶机选购巧旋转涂覆术
选购巧
从其原理来说,可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节
旋转速度
转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求*涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。产的某些匀胶机只能提供转速范围,。口的匀胶机虽然大分能标定转速,但是大分转速精度没有际标准认定。建议购买转速控制方面有际认定标准的,比如:美NIST标准等。
真空吸附系统的构
真空泵定要无油的,压力标定准确,内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况,还会让滴胶液不慎入真空管道系统成堵塞。用过产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这点许多外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
材质的选择
对于半导体化行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。