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美国深特公司独特的超薄膜氧化铝(HTF)水分传感器技术
美国深特公司独特的超薄膜氧化铝(HTF)水分传感器技术
(
XPDM露点仪
、
XDT在线露点仪
等露点传感器采用此技术
)
美国深特公司独特的超薄膜氧化铝(HTF)水分传感器技术是在薄膜技术和氧化金属学的基础上发展而来,利用此技术制造的传感器的测量灵敏性要远远大于利用其它技术制造的传感器,并且解决了氧化铝传感器漂移和受温度影响的难题。
工作原理
美国深特公司的HTF技术在氧化铝技术原理的基础上改进了传感器结构,使HTF传感器的灵敏性和稳定性大大增强。三个改进的地方是:HTF传感器具有更薄的氧化层;铝和氧化层之间更确定的隔离层;独特的微孔几何结构增强了水分子的吸收。
灵敏性
深特公司HTF传感器的电容变化是传统的传感器的60倍。高灵敏性使HTF传感器更加稳定并几乎不受其他因素影响,如温度、电气噪音和长期飘移。
温度系数
HTF传感器在全量程保持温度稳定性。仅在-70℃露点温度以下,温度对测量有稍微的影响,此时软件足以来对温度进行补偿。
漂 移
HTF传感器与其它传统传感器不同,随时间几乎无漂移。
速 度:
超薄的氧化层使得HTF传感器的响应速度非常快。
一致性:
深特公司的HTF传感器具有很好的一致性,传感器的互换性非常好。
相关产品:XPDM露点仪、XDT在线露点仪等
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