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产品名称:
EQ-PCE-3 等离子清洗机
产品型号:
EQ-PCE-3
产品展商:
MTI
产品价格:
0.00 元
简单介绍
EQ-PCE-3 是微型台式等离子清洁仪，这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来**玻璃、半导体、高分子材料、 金属基座的表面纳米有机污染物，在高射频（RF）功率的情况下的*大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
EQ-PCE-3 等离子清洗机的详细介绍
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产品型号：
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EQ-PCE-3 微型台式等离子清洁仪（带真空泵）
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产品简介：
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EQ-PCE-3 是微型台式等离子清洁仪，这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来**玻璃、半导体、高分子材料、 金属基座的表面纳米有机污染物，在高射频（RF）功率的情况下的*大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
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主要特点：
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外型美观精巧
可调节射频功率(高、中、低)
操作**,成本低廉,对人类和环境无害
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技术参数：
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1. 输入电源：115V AC ,50/60 Hz；或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W
2. 输出频率：13.56 MHz
3. 等离子发射频率：三种可调输出电压:
低 680V DC 10mA DC 6.8W
中 700V DC 15mA DC 10.5W
高 720V DC 25mA DC 18 W
4. 等离子舱体：76mm(直径)x 165mm(长) 硼硅酸玻璃舱体 可拆卸式前盖
5 .真空泵与控制阀门：双极旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 带过滤器和KF-D25闸口----配有KFD25接头, 600mm长不锈钢管与高质量的过滤器
6. *大终端压力为30 mTorr或更小
7. 1/8" NPT 针型阀门有效控制气体的流动和舱体内的压力
8. 1/8" NPT 三通阀门以便放散气体, 舱体隔离及泄气状态的转换
9. 惰性气体：根据所需清洗的污染物可选择采用N2, Ar, Air 和混合气体
注意不能使用可燃性气体
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标准配件：
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可选配件：
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若使用2"晶体石英舟,这种清洁仪能一次处理25个直径2"的晶体；
数码真空计量器，用于**调控舱体压力
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产品规格：
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规格：216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D)
净重：6.5 kg （不带真空泵）14.0 kg（带真空泵）
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