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产品名称:
双炉体滑动PECVD系统
产品型号:
OTF-1200X-PESDFG-50
产品展商:
科晶
产品价格:
0.00 元
简单介绍
双炉体滑动PECVD系统是一款双炉体滑动的PECVD系统，并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
双炉体滑动PECVD系统的详细介绍
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技术参数
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双炉体滑动PECVD系统炉体结构（点击图片查看详细资料）
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● 两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果
● 连续工作温度:1100℃
● 两个炉体都可以设置30段升降温程序
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等离子体射频电源
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● 输出频率: 13.56 MHz ±0.005%
● *大射频功率: 500W
● 匹配: 自动匹配
● 噪音: <50 dB.
● 冷却: 空气冷却
● 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz
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真空系统
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● 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
● KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连
● 管内真空可达10E-2 Torr
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质量流量计混气系统
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● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制
● MFC1范围: 0~100 sccm
● MFC2和3: 0~200 sccm
● MFC4范围: 0~500 sccm
● 一个混气罐，底部装有泄废液口
● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体
● 进气口: 4个1/4NPS
● 出气口: 4个 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
● 可选购气液混合装置，用于CVD系统
 
  
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炉管&密封法兰
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● 高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
● 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计
 
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防腐型真空计
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● 输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器）
● 测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.
● 数据显示 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
● 接头 KF16 接头
● 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
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循环手套箱
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● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
● 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm
● 一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接
  
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质保期
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一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）
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质量认证
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● CE 认证
● 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证
    
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