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产品名称:
定向CVD生长炉
产品型号:
OTF-1200X-50-DSL
产品展商:
科晶
产品价格:
0.00 元
简单介绍
OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。
定向CVD生长炉的详细介绍
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性能指标和基本配置
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炉体结构
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● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统
● 一个滑轨安装在炉体下端，可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数
● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可提高加热效率和延长使用寿命。
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功率
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1.5KW
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电压
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AC220V，单相
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*高共工作温度
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1200℃（≤1小时）
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连续工作温度
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1100℃
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加热区域
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● 加热区：200mm(单温区）
● 通过管堵位置和炉体移动可形成想得到的温度梯度
 
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加热元件
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掺钼铁铬铝（表面涂有高温氧化锆涂层，可延长其使用寿命）
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炉管
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● 高纯石英管
● 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 仪器加热前，必须放入管堵，以防止热量辐射影响法兰的密封性
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温控系统
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● 采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序
● 设置有温度过高和断偶保护系统
● 控温精度：±1℃
● 可选测PC控制软件，将升温程序和温度曲线导入到电脑中
 
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炉体滑动控制系统
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● 触摸屏控制
● 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态，在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度，但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。
● 含蜂鸣报警器，当炉体触碰到限位开关就会产生报警，并切断控制电路，使炉体停止移动。
● 可显示高温炉内的炉温，与之通讯
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密封法兰
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● 仪器中配有一套不锈钢密封法兰（上面已安装不锈钢针阀和机械压力表）
● 法兰上有一Φ6.35的铠装孔，可将热电偶插入到炉管中，更准确地测量样品的实际温度
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石英气体喷嘴
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可选配石英气体喷嘴，将反应气体与缓冲清洗气体分开通入，可有效减少副反应发生，实现优异CVD工艺，如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺（ALC CVD）或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
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真空度
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● 10E-5 torr （用分子泵）
● 10E-2 torr （用直联式机械泵）
 
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滑轨长度
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1200mm
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产品尺寸
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● 315 x 300 x 380 mm (炉体)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形)
● 360 x 180 x 300 mm（电器控制柜）
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重量
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100Kg
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质量认证
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CE certified
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保修期
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一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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