如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
2英寸高真空磁控溅射头
产品型号:
HVMSS-SPC-2-LD
产品展商:
MTI
产品价格:
0.00 元
简单介绍
HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
2英寸高真空磁控溅射头的详细介绍
技术参数
|
特征
(点击图片查看详细资料）
|
- 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
- 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布
- 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命
- 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配
- 安装是采用标准真空接头，便于操作
- 更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度
|
|
所需功率
|
|
|
*大溅射电流
|
3A
|
|
溅射电压
|
100-1000 V
|
|
溅射时腔体真空度
|
5-100 mTorr
|
|
溅射均匀性曲线图
|
|
|
尺寸
|
|
|
靶材
|
- 直径: 2.0英寸(50.8mm)
- 厚度: 对于非磁性靶材，*大厚度为1/4英寸
对于磁性靶材，*大厚度为1/16英寸
- 靶材利用率：30%
- 磁铁:NdFeB 稀土磁铁
|
|
需要冷却水
|
- 流速: 0.8 GPM
- 进水温度:<20 ℃
- 水管:0.25" OD.
|
|
可选配件
|
- 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
- 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
 
- 循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
|
| 外形尺寸 |
 |
|
质保
|
一年质保期，终生维护
|
- 温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
- 免责申明：以上内容为注册会员自行发布，若信息的真实性、合法性存在争议，平台将会监督协助处理，欢迎举报
2英寸高真空磁控溅射头相关产品
Copyright@ 2003-2025
深圳市科晶智达科技有限公司版权所有