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产品名称:
GSL-4Z混气系统4路质子
产品型号:
GSL-4Z
产品展商:
MTI
产品价格:
0.00 元
简单介绍
GSL-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GSL-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
GSL-4Z混气系统4路质子的详细介绍
技术参数
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功能模块
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项目
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参数
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混气系统
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质量流量控制器
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工作电压：185~245V/50Hz
*大输出功率：18W
控制范围：
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控制器1：0~100 SCCM
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控制器2：1~199 SCCM
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控制器3：1~199 SCCM
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控制器4：1~499 SCCM
工作温度：5~45 ºC
*大压力：3x106 Pa
准确度：±1% FS
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机械压力表
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测量范围：
-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
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针阀
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316不锈钢
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混气罐
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Φ80X120mm
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截止阀
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Φ1/4”316不锈钢针阀
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尺寸
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600x600x650 mm
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