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产品名称:
双温区湿度可控氢气热处理炉
产品型号:
OTF-1200X-II-80HG
产品展商:
MTI
产品价格:
0.00 元
简单介绍
双温区湿度可控氢气热处理炉是一款双温区湿度可控氢气热处理炉,此设备带有两通道气体控制器,气液混合罐,露点仪和氢气探测器,此设备专门设置对材料进行湿氢处理,以达到材料表面部分氧化,同时也进行各种CVD实验。精密露点仪测量精度可以达到 +/-1.5%RH。若有实验中发生氢气微露现象(氢气爆炸点的10%),3M公司的氢气探测器将发生报警信号,使整个实验在优良**的环境下进行。
双温区湿度可控氢气热处理炉的详细介绍
双温区湿度可控氢气热处理炉技术参数
炉体结构
(点击图片查看详细资料)
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双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于60℃
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采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层(可延长设备使用寿命和提高加热效率)
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开启式炉体设计,方便更换炉管
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仪器包括氢气探测器和蜂鸣报警器,达到**实验
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带有气液混合罐,并套有加热环,控制器控制升降温
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*大功率
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4KW
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输入电压
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AC 208 - 240V 单相 (需要30A 的空气开关 )
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加热元件
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掺钼铁铬铝(电阻丝的表面涂有美国进口的高温氧化锆涂层,可以提高加热元件的使用寿命)
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加热区长度
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两个温区,每个温区长度为200mm,
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总温区长度:400mm
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恒温区:200mm(两个温区可设置同样的温度)
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*高工作温度
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1200℃(小于1小时)
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连续工作温度
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1100℃
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建议升温速率
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10°C /min
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炉管和法兰
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高纯石英管:Φ50 (OD)×Φ44 (ID) ×1000 L, mm
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Φ60 (OD)×Φ54 (ID) ×1000 L, mm
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Φ80 (OD)×Φ74 (ID) ×1000 L, mm
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Φ100 (OD)×Φ94 (ID) ×1000 L, mm
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304不锈钢法兰,上面安装有机械压力表和针阀,炉管内真空度可以达到10 - 5 torr(采用分子泵)
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温控系统
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两个温区分别由两个控温仪表独立控制,可设置30段升降温程序。
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采用PID方式控制升降温
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带有过热和断偶保护
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控温精度+/- 1 ºC
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炉体面板上有RS485接口,可额外在本公司购买控温软件,可将升温程序和温度曲线导入到电脑中。
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控温仪表操作视频
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气体控制
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安装有两个50-500ml/min浮子流量计,控制进气流量
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一个浮子流量计直接与法兰相连接,可通入干燥的氢气进入炉管
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另一个浮子流量计与气液混合罐,可通入湿氢进入炉管中。
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可在本公司选购质量流量计控制系统,可以控制气体流量。
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气液混合罐
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一个304不锈钢混合罐,容积为600ml( 80OD x 200H, mm)
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混合罐放置在一个加热环中
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露点仪
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一个精密的露点仪,带有KF25接头
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测量范围:0 - 100% RH (精度为1.5%FS),-60º ~ +60º DP(精度+/-0.3º)
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可调试混合罐的温度和氢气流量来调节水分含量
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氢气探测器
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工作温度:-18ºC - 65ºC
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报警点:氢气爆炸点的10%
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仪器尺寸
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1400×600×1200mm
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质保期
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一年质保期(不包括炉管,密封圈和加热元件等易耗件)
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质量认证
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CE Certified
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