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静电测试仪在IC工业中的静电测试

发布时间:2013-07-02
  
          我们知道IC生产工艺要求的是洁净车间或超净车间。但国内很少有厂家能做到无尘室里一粒particle都没有,现在要求灰尘颗粒粒径由原来的0.3μm降低到现在的0.1μm,但如果吸附的灰尘粒子的粒径大于线条宽度时,很容易使产品报废。
          工序静电防护做的很好,该接地的都接了,要用的防静电设备及静电测试仪用品也用了,而且净化等级做的也很高,为什么放置一段时间后还会吸灰呢?那是因为生产加工晶片的机台或工作车间都装有FFU高效过滤器,当气流与产品进行摩擦后就会产生静电,静电累积到一定量的时候就会吸附灰尘。所以我们建议在高效过滤器下端装不带气源的防静电设备及静电测试仪来保证整个空间的动态平衡。
          电放电是电荷积累的过程,当电荷积累到一定的程度,有个导体接近它就会产生静电放电。举个很简单的例子,在干燥的冬季,人走动、摩擦后很容易积聚静电,当我们碰到金属把手或开汽车门的时候会有触电的感觉,这就是静电放电,一般人体带有3000-5000V的静电时就会有明显放电的感觉。
  
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