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- 产品名称：ZYGO MST 激光干涉仪
- 产品型号：Verifire™ MST
- 产品展商：ZYGO
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- 发布时间：2019-03-15
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简单介绍
ZYGO MST 激光干涉仪:Interferometer System for Multiple Surface Testing
产品描述
Verifire™ MST 激光干涉仪提供了一个****的崭新的测量方式和能力，传统的激光干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个 由两个面所形成的腔。
但是，如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板，则就会产生两个叠加的干涉条纹（三个面的腔所形成），这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。
现在，ZYGO的Verifire™ MST 激光干涉仪解决了这一个问题，通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。
三平面干涉测量
Verifire™ MST 激光干涉仪可以在你的测量中，只要一次数据采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度：
• 前表面形貌图
• 光学厚度变化
• 物理厚度变化和后表面形变
四表面干涉测量
这一技术能够通过两次数据采集得到下列结果：
• 前表面和后表面的形貌图
• 物理厚度变化
• 光学厚度变化
• 折射率变化
- 非线性材料均匀性
- 线性材料均匀性
多表面样品测量快速、简单和质量提升
同时测量表面形变和光学厚度变化
平行平板两侧测量就可以得到其均匀性：
• 不需要涂油就可以进行**、快速测量
• 两次测量不需要进行调整
新型的线性材料均匀性测量
快速测量，只需要几分钟而不是几个小时
型号：BZY1-Verifire™ MST
货号：21011301
Interferometer System for Multiple Surface Testing
Verifire™MST laser interferometer enables precise optical metrology of multiple surfaces?simultaneously, including plane parallel components with multiple reflections.
The Verifire™ MST starts with the classical interferometer applications.
These applications all measure the wavefront variations between two surfaces, a two-surface cavity.
However, measuring an uncoated parallel plate gives two layered interferograms (a three-surface cavity) that confuse standard Phase Shift Interferometry algorithms.
ZYGO has solved this problem using wavelength shifting of phase, and ZYGO's patented Fourier Transform Phase Shifting Interferometry (FTPSI).
The Verifire™ MST can measure two-surface, three- and even four-surface cavities.
Show all of the surfaces, or only the surfaces of interest, all within ZYGO'sMx™ software. Artifacts are naturally suppressed using FTPSI, eliminating the need for an extended source.
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