対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统静电消除器4214
4214静电消除器是一款即使在N2的环境下也可以对应“延长ISO Class1,10nm”的高清洁静电消除器，以达到更好的离子平衡效果。
· 采用对应超低颗粒的单结晶硅电极。
· 通过自身的清洁机构，超低颗粒不释放到外部，以确保长时间清洁度的稳定。
· 采用智能控制电路，不需要任何调整。
· 内置传感器可随时监测离子发生情况，以达到良好的除电效果。
· 控制器和电源内置的紧湊一体型设计。
· 当低流量时，高电压自动切断机能而达到产品的保护。
· *适合先端半导体制造工程情况下的超低颗粒。
· 24V DC驱动。
规格
| 输入电压 | 24V DC+/-5% 6W Typ. |
| 离子平衡 | <+/-25V 150mm距离 40LPM配管接口 无 |
| 放电时间 | 10sec 150mm 距离 40LPM配管接口 无 通过带电平板显示器 +/-1kv → +/- 100v |
| 离子生成方法 | 高频电晕放电式 高频率AC式 |
| 清洁度 | ISO Class1,0.1 micron"延长ISO Class1,10nm"* |
| 电极 | 单晶硅 可换 |
| 对应气流 | N2> 99.998％ |
| 流量 | 40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa） |
| *大气压 | （流量= 100LPM）207Kpa |
| *大气体温度 | 60degÇ |
| 氮气接口 | Swagelok3/8" OD 配管 |
| 离子化氮气接口 | 1/4NPT内螺纹连接器 或 通过联合选项28-25710-SC接续 Swagelok1/2"OD配管 |
| 工作温度范围 | 15〜60degç |
| 信号输出 | 通过Open/Close接点，报警及离子输出减少 |
| 尺寸 | 长152.4mm*宽72.4mm*高32mm |
| 重量 | 640g |
| 外观 | 不锈钢 |
| 安装方法 | 内部为M5的螺丝，螺丝长不足10mm |
关于“延长ISO Class1,10nm”
为了应对微小型颗料，基于ION Systems而自定的清洁度的定度。ISO14644-1是*小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。
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