KASUGA春日除静电设备!
KASUGA春日宽幅电位传感器KS-2100
・把放大器(驱动电路) 内藏在检出部里,廉价小型轻便。
・比高价的静电电位监视系统制造方便,而且价格便宜。
・开关能改变测量范围、可以测量从低到高较大范围的电位。
・装有检出传感器故障表示LED、并能输出到外部。
表示部
型式 | KS-2100 |
检出方式 | 振荡型表面电位传感器 |
测量范围 | 有效距离① ±1~±2000V |
| 有效距离② ±0.01~±20.00kV |
模拟输出 | 0~±5V |
测量精度 | ±10%以内 |
测量基准距离 | 有效距离① 10mm |
| 有效距离② 50mm |
警报 | 查出传感器故障LED表示,外部输出 |
电源 | DC12~24V±5% |
环境 | 温度0~40℃、湿度65%RH以下(没有结露) |
质量 | 约100g(不含电缆) |
付属品 | 专用电缆5m(*大到100m为止) |
用途
・在显影平面的生产工序的带电量监视。
・半导体芯片带电量监视。
・LSI的处理中及印刷电路板搬送中来监视带电量。
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