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- 产品名称：供应Optical MicroGauge (厚度计測装置) C11623
- 产品型号：C11623
- 产品展商：日本滨松
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2010-10-11
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简单介绍
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产品描述
Optical MicroGauge (厚み計測装置) C11623
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半導体市場では貫通電極（TSV)技術の採用により、シリコン厚の測定が重要視され、フィルム市場では接着層の薄膜化が進み、共に1μm〜300μmの範囲での高精度な厚み測定が必要とされています。
Optical MicroGauge C11623は、光干渉法を利用した非接触の厚み計測装置です。シリコン厚みから薄膜測定までに対応し、半導体・フィルム市場で多用される0.5 μｍ〜700 μｍの測定範囲を測定可能です。
特 長
● マッピング機能対応
● 光学定数（n、k)解析可能
● 外部機器から制御可能
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