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- 产品名称：供应三次元形状計測装置 C10352-01
- 产品型号：C10352-01
- 产品展商：日本滨松
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- 发布时间：2010-10-11
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简单介绍
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产品描述
三次元形状計測装置 C10352-01
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C10352-01は、白色干渉法を用いた三次元形状計測装置です。MEMSデバイスの各面の平坦度や深さ、バンプ高さなどの0.1μm以上の高い計測精度要求に応えます。C10352-01は、高速で高精度な測定を低価格で計測したいというユーザーの要望に応えました。
製品説明
特 長
● ナノメートルオーダーの高さ分解能で計測
● 二次元カメラによる画面内一括計測
● 対物レンズ交換により視野サイズを変更可能
● 26 μm/sの高速走査で計測
● オリジナル解析アルゴリズムにより高速・高精度な解析が可能
測定対象
● Si局所的エッチングの深さ計測
● ICチップ内の反り
● バンプ電極の形状計測
● マイクロレンズアレイの欠陥検査
● マイクログレーティングの形状検査
● 研削・研磨面の粗さ
● LDチップのマウント位置と傾き
● LDアレイのマウント検査
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