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- 产品名称：供应真空紫外（VUV）光源ユニット
- 产品型号：真空紫外电源
- 产品展商：日本滨松
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- 发布时间：2018-08-06
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简单介绍
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产品描述
真空紫外（VUV）光源ユニット
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「MgF2窓付き重水素ランプ」を内蔵した真空紫外光源ユニットです。高輝度重水素ランプを搭載し、空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したL10366と、真空フランジ付属のSUSフレキシブル管を採用したL10706があります。
真空紫外線による静電気除去
従来の静電気除去装置では不可能であった減圧下での静電気除去が可能！
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特許：
日本／特許第2816037号、特許第2977098号、特許第3169993号、特許第2996316号、特許第3377221号
米国／特許第5596478、特許第5254229
ヨーロッパ／特許第0597103
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用途
■電子線応用製品（SEM等）の静電気除去
■減圧下での半導体製造等の静電気除去
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