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- 产品名称：SVCOR思沃SVCOR™-PVA brush清洗刷
- 产品型号：PVA brush
- 产品展商：SCVOR思沃
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- 发布时间：2010-07-05
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简单介绍
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产品描述
SVCOR思沃SVCOR™-PVA brush清洗刷
SVCOR™-PVA brush 专为化学机械抛光（CMP）后晶圆的清洗提供世界**的海绵刷产品
一改以往的淀粉致孔法或气体起泡法制备PVA海绵的工艺，采用公司独有的**技术，使PVA微孔材料的性能与结构实现质的改变，以更好地满足半导体制程晶圆清洗的要求，提高产品的成品率。
表面均匀微孔结构的设计，使清洗液的渗出更均匀，清洗更**；
粗实的连体孔支架结构使材料能经受不断反复的滚动、磨擦而不磨损，有效地提高海绵刷的使用寿命；
更细微孔径（20μm）的设计能控制来自内芯流体的透过速率，并维持一定的压力差，能防止因流体的倒吸而产生的粘粒现象，保证晶圆产品的质量。
产品特点:
1.表面均匀微孔结构的设计
2.不需防霉处理，永不变质
3.干燥时收缩率很小,可干法保存
4.可用于1-1000级无尘室
5.使用寿命长
SVCOR™ PVA brush与其它海绵刷的结构比较
SVCOR™ PVA 清洗刷规格（单位：mm）
编号 | 外径 | 外径（圆柱体） | 内径 | *大长度 |
1 | 32 | 25 | 12 | 250 |
2 | 38 | 31 | 18 | 350 |
3 | 48 | 40 | 26 | 350 |
4 | 60 | 51 | 32 | 350 |
5 | 70 | 60 | 32 | 350 |
6 | 76 | 67 | 26 | 500 |
7 | 89 | 77 | 26 | 500 |
8 | 106 | 94 | 60 | 500 |
注：SVCOR™-PVA brush产品的技术优势还体现在其不需防霉处理，永不变质，且因其干燥时收缩率很小，可干法保存。
SVCOR™-PVA brush适合于AMT Reflexion、 Low K、Ebara F*Rex、DNS和OnTrak等半导体清洗设备。
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