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氦质谱检漏仪应用于真空渗碳炉检漏方法

一、应用于真空渗碳炉检漏原因
真空渗碳炉 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精机（shinko seiki）罗茨泵机组(SR-75BⅡ+ SMB-C15) 抽真空，要求真空度需要到达 1x10-3 mbar 左右真空环境下才能有效工作，
由于渗碳处理需要温度大约900℃ 下进行，如果密封不好的话工件很容易氧化，造成整炉的工件保费，损失巨大。所以真空渗碳炉的密封性非常重要，检漏非常关键。
二、应用于真空渗碳炉检漏方法
Pfeiffer HLT560 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正压模式 (sniffer mode)，真空渗碳炉多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏，将氦质谱检漏仪与真空系统连接，*好连接在排气口附近（也就是真空泵组的进气口处），真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的流向上，很容易有一部分分压分给氦质谱检漏仪，从而达到检漏的效果。
Pfeiffer 氦质谱检漏仪连接在机械泵组的进气口处，首先启动泵组，对渗碳炉抽真空，同时启动氦质谱检漏仪，此时质谱检漏仪上面的 Pfeiffer EVB 025 角阀一定处于关闭状态，当泵组抽真空到达一定真空度（*高背压为 25 mbar业界*高）时，可以进行检漏操作。
检漏工作准备就绪，泵组抽真空到达一定真空度后，氦质谱检漏仪为待机状态，EVB 025 角阀处于关闭状态，此时可以按下检漏仪启动键，氦质谱检漏仪开始测漏，然后慢慢开启角阀，观察漏率值的变化，由于检漏仪和真空渗碳炉的腔体联通，有真空度的变化，所以漏率值也会产生变化，等到漏率值平稳，再将角阀慢慢开到*大，等待数值稳定，可以喷氦气进行检漏。
当喷氦气后氦质谱检漏仪显示漏率值超过设定值，并且有明显的报警声音，表明此处有漏点，然后在漏电处做标记，在进行其他部位的检漏。
当检测中找到漏电后，由于有氦气进入真空系统，所以漏率值会缓慢上升，为了更快速检测下一个漏电，可以按下显示屏左下方的 ZERO 键，对检漏仪进行本底清零，随即可以查找下一个漏点，达到节省时间的效果。

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