采用MEMS工艺技术,在湿度20%~80%RH的环境下实现了高线性度
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我公司面向空调、空气净化器等家电产品,已完成开发在从低到高的宽湿度区域保持良好线性度的《HSHCA系列》静电容量式湿度传感器,并从本年度的11月起开始了量产。
目前,在家电产品和便携式设备上安装多数传感器。这些传感器用于检测设备的门扉、盖开闭以及方位、亮度、气压、湿度等,并且通过支持家电产品或便携式设备的正确且正常的工作,实现用户的舒适操作环境。
空调、空气净化器等设备要维持功能并更佳便于使用,正确地检测气温以及湿度是必不可缺的。为了维持功能、更加便于使用,在设备上安装有各种传感器,其中在湿度传感器上存在一些问题。 现有的湿度传感器多采用电阻式,但是,电阻式传感器存在在干燥状态(湿度在20%RH附近)以及接近结露的状态(湿度在80%附近)下输出不稳定或者测量值与实际值不相符的课题。而且,静电容量式虽可进行高精度的检测,但是价格昂贵,因此要在设备上采用,存在成本上的问题。
为了解决这些问题,我公司开发了充分利用MEMS工艺技术的《HSHCA系列》静电容量式湿度传感器。
我公司充分利用至今在MEMS传感器市场上积累下来的实际经验,通过在检测部上采用独有的干湿膜,使本产品在从低到高的宽湿度区域实现了良好的线性度,实现了出色的检测精度。
而且,充分利用至今在磁性传感器的开发以及量产过程中积累下来的MEMS工艺技术,实现了同行业*小、*薄的传感器产品。另外,还充分考虑了检测精度和成本之间的平衡,预计今后将在各种设备上被采用,如,检测便携式设备以及受到湿度影响的打印机等的油墨状态等。
另外,为使本产品能够比较容易地贴装在基板上,还开发出了组件型产品。
●使小型、薄型化和高可靠性并存的静电容量式湿度传感器
空调、空气净化器、电冰箱等家电产品
打印机、手机、数码相机等电子设备
健康管理应用产品等健康管理仪器