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技术文章

1. 平压测量面的平整性：仔细擦干净受压测量面表面，并使他们稍微离开一些，对着明亮的光线能看到缝隙。当从两个相互垂直的方向观察测量面时，该缝隙应是很均匀的。

2. 施加于测量面的压力：任何适宜于校准施加压力精度和均匀性的方法都可以使用。

3. 厚度块规：厚度值相当于厚度计全量程的10%、30%、50%、70%和90%的专用或标准块规，每个块规的厚度误差不应超过±程1pm。

4. 测量示值的重复性误差和示值误差：（1.）当两个受压测量面相互接触时，厚度计的读数应为零，在随后的测量过程中不应重调零点。

（2）张开两个受压测量面的缝隙，然后重新让其相互接触上，记录厚度计的读数，重复这一步骤至少五次。

（3）取一块符合3规定的厚度块规，置于两测量面之间，然后将测量面紧靠在块规上，记录厚度计的读数，重复这一步骤至少五次。

（4）将其余块规逐一置于两测量面间，重复（3）的操作步骤。（注：块规应单个使用，不能组合使用）重复（2）的操作步骤。

（5）在厚度计上读取每一块规的测定数值并计算。测量示值的重复性误差即五个或更多个读数的标准偏差。示值误差即五个或更多个读数的平均值与厚度块规之间的差值。

5．受压测量面的平行度：（1）将3规定的厚度块规放入两个测量面间，并尽量使之接近一侧的边缘。然后将测量面紧靠块规，记录厚度计的读数。

（2）将同一块规置于两测量面间，尽量使之接折与5（1）正好相对的边缘。然后将测量面紧靠块规，再次记录厚度计的读数。

（3）在垂直通过5（1）、5（2）测量点的直径边缘上，重复5（1）、5（2）的操作步骤。

（4）将所有厚度块再次重复5的所有步骤。厚度块应单个使用，不能组合使用。

（5）按式1计算使用每一块规时的平行度误差。

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