轮廓仪的主要性质：
1、三维表层结构：粗糙度,波纹度，表层结构，缺陷分析，晶粒分析等
2、二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等
3、表界面量测：透光表层形貌,薄膜厚度，透光薄膜下的表层
4、薄膜和厚膜的台阶高度量测
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量量测
6、微电子表层分析和MEMS表征
轮廓仪定义：能描绘工件表层波度与粗糙度，并给出其数值的仪表。 轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。仪表由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。