轮廓仪由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。轮廓仪主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，它又能直接按某种评定标准读数。1、三维表面结构：粗糙度,波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等
2、二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等
3、表界面测量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量
6、微电子表面分析和MEMS表征