去离子水的处理步骤：
从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ： 1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质 2、然后高压通过反渗透膜 3、*后一般还要经过一步紫外**以去除水中的微生物 4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程*高电阻率可达到18兆。 相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水
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