集成湿度传感器

    Setra 的加热700 系列是一款高度精准的真空压力变送器，其配备一个积分加热传感器，在临界应用中可防止传感器上的气体冷凝和污染。加热700 系列拥有以下型号：764 型（温控至45℃）、769 型（温控至100℃）以及774 型（温控至123℃）。

　　线性电压输出式集成湿度传感器，典型产品有HIH3605/3610、HM1500/1520。其主要特点是采用恒压供电，内置放大电路，能输出与相对湿度呈比例关系的伏特级电压信号，响应速度快，重复性好，抗污染能力强。

    所有三个型号在1 Torr 到1000 Torr（全量程）的压力范围内的读数**度达到±0.15%，全量程分辨率优于0.005%。764 型具有50 和100mTorr 的全量程，而769 型具有100 mTorr 的全量程。加热700 系列的工作电压为±15 VDC 起，VDC 信号输出为0-10，此输出与压力成线性，与气体构成无关。同时，提供用于电气终端的15 针D 连接器以及一系列精选的压力和真空接头。防腐的Inconel 适用于所有润湿材料，这使得加热700 系列几乎对防腐媒介不敏感。

　　线性频率输出集成湿度传感器，典型产品为HF3223型。它采用模块式结构，属于频率输出式集成湿度传感器，在55%RH时的输出频率为8750Hz（型值），当上对湿度从10%变化到95%时，输出频率就从9560Hz减小到8030Hz。这种传感器具有线性度好、抗干扰能力强、便于配数字电路或单片机、价格低等优点。

    Setraceram传感器是470T能提供极高精度和稳定性能的关键所在。它利用简单、稳定材料原理的**设计，获得可变电容输出，数字电路的分辨率可达到1 ppm。数字电路和软件将原始数据处理成相应的（线性化和温度补偿）输出，精度达到0.02% F.S.，并以相应的工程单位输出。