在半导体晶圆的制造中，光磁存储生产中，太阳能面板制造中，TFT，OLED及其他光学**镀膜中，**分析仪器及航空航天研究中，都离不开高真空，涡轮分子泵，复合分子泵，磁悬浮分子泵是目前获得高真空最好设备之一，其工作原理是利用高速旋转的多层转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被一层一层定子隔离，最终驱向排气口后为前级抽走而获得高真空。
分子泵转子，是典型的高速挠性转子，其多达十几层几百个叶片，转动的叶片和定子之间只有0.1毫米，制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时，叶片端部的速度接近超音速，每次开始转动、停下时，加速度和减速度都很大，轻微的偏差都将引起极大的震动，其平衡级别要求远在国际最高标准G0.4之上，在其泵壳测量出的震动值要求达到0.01um，高速在线动平衡调整是其核心技术之一。
专业的分子泵维修公司一定会配备震动频谱分析设备，相反一些小的山寨厂，四处晃荡抄袭资料，可能连震动频谱报告都未必能看明白，不能不防 中山共享光电真空技术有限公司是专业从事分子泵维修工作的，拥有分子泵维修检测必须的震动频谱分析设备三台，拥有国家级**一项，能协助客户**分析分子泵的状态。涡轮分子泵维修技术－振动频谱分析图
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