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中山共享光电能熟练维修各类瓦里安分子泵,如:Varian TV70, Varian TV250, Varian Tv301, Varian TV501, Varian TV801,TV701,TV1001,TV2000等
Varian TV250,TV301,TV501,TV801大量应用于医疗行业中。
在原子力显微镜中,瓦里安也有独特的优势,配合其缓冲器,分子泵顶部震动可以小于磁悬浮分子泵,能提供更清晰更稳定的图像。
Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技术,Macro Toree是目前世界上有效的涡轮级设计技术。
涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成, 重量小化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整?
整体化设计降低了作用在材料和轴承上的压力,可靠性极高。
免维护的陶瓷轴承, 无油,无污染, 平均无故障时间大大增加
瓦里安分子泵在高真空和超高真空应用中的几点优势
1. 陶瓷轴承,脂润滑,无需维护,两个轴承都在排气口端,确保了清洁的真空环境。( 这对超高真空的应用来说非常重要) ,无磁轴承,轴承对转子的固定作用强,可以承受一定的外界机械冲击。( 这对移动式的真空机组尤为重要)
360度任意角度安装,长寿命,平均无故障运行时间长达12000小时。
2. 转子叶片一次加工完成,不仅自重轻,而且大大减小了叶片内的应力。因此机械强度高,转子寿命长
3. 拥有**技术的MacroTorr拖动级,使得瓦里安分子泵对气体,特别是小分子气体,有很高的压缩比
分子泵对不同的气体的抽速和压缩比是有显著不同的。压缩比描述的是分子泵对特定气体的压缩能力。在分子泵的排气口压力保持不变的情况下,对压缩比比较大的分子泵来说,气体分子由排气口返流回进气口的量较小,反之,则返流较大。
在分子泵刚刚开始工作的阶段,由于有大量的气体由进气口被抽到排气口,所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大,而随着进气口压力的下降,分子泵抽下来的气体量在减少,这时,气体返流对抽速的影响也就大起来了。这就是分子泵对小分子气体,特别是氢气的抽气能力较差的原因。
对于高真空/超高真空系统,当系统内的压力低于10-6毫巴以后,系统内氢气占的比例越来越大,而此时氢气的返流也越来越明显,因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大,分子泵对氢气的实际有效抽速就越大;反之,则实际有效抽速已经所剩无几。
例如:瓦里安公司V551分子泵对H2的压缩比为106,所以当压力为10-7毫巴时对氢气的抽速仍然可以保持500升/秒
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中山共享光电专业维修Agilent Varian Turbopump TV301
中山共享光电专业维修Varian TV81-T
*超声波**清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
*更换了全套原装进口陶瓷轴承,及密封件等损耗品
*马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
*根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准
*测试0-80000rpm启动时间<3分钟
*测试极限真空值<1.0*10-7mbar
*持续模拟生产现场测试24小时
*0-20KHz震动频谱加速度分析
*6000-80000rpm全转速动平衡分析及校准
涡轮分子泵维修是件非常专业细致的工作,专心专业的中山共享人,本着全心全意的精神,为客户提供尽善尽美的服务。
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