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成功案例

Edwards EXT70H 24V爱德华分子泵维修成功



Felight Vacuum System Co.,LTD 专业维修Edwards EXT70H 24V复合分子泵。我司针常用的
Edwards EXT70H 24V分子维修保养内容如下:
*超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干
*更换了全套原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
*马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
*根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.6标准
*测试0-90000rpm启动时间<3分钟
*测试极限真空值<1.0*107mbar
*持续模拟生产现场测试24小时
0-20KHz震动频谱加速度分析
6000-90000rpm全转速动平衡分析及校准
Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
 
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